フィードバック制御型変調誘導熱プラズマにおける熱プラズマ温度波形追随の周波数依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/05/08

タイトル(英語): Frequency Property of Direct Temperature Control in Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 上坂 洋介(金沢大学),坪川 祐樹(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Uesaka Yosuke(Kanazawa University),Tsubokawa Yuki(Kanazawa University),Tanaka Yasunori(Kanazawa University),Uesugi Yoshihiko(Kanazawa University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|フィードバック制御|ＭＯＳＦＥＴインバータ|温度制御|周波数特性|Modulated induction thermal plasma|Feedback control|MOSFET inverter|Temperature control|Frequency property

要約(日本語): 筆者らはこれまでにパルス変調誘導熱プラズマ（ＰＭＩＴＰ）および任意波形変調誘導熱プラズマ（ＡＭＩＴＰ）を開発し，熱プラズマにおける温度場・反応場を変動制御させる成果を得ている。これら変調熱プラズマをさらに発展させ、熱プラズマ温度の直接波形追随制御を行うフィードバック制御型変調誘導熱プラズマ（ＦＢＣ－ＭＩＴＰ）システムを開発し，その温度追随特性を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,247 Kバイト