アクチノメトリー法および第１正帯バンドスペクトルの減算による 窒素プラズマ中の窒素解離度の測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10014

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/05/08

タイトル(英語): Measurement of Nitrogen Dissociation Degree of Nitrogen Discharge Plasma by Actinometry Method with Subtraction of First Positive Band Spectrum

著者名: 赤塚 洋(東京工業大学),市川 陽亮(東京工業大学),桑野 慧(東京工業大学),坂本 武士(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学)

著者名(英語): Akatsuka Hiroshi(Tokyo Institute of Technology),Ichikawa Yosuke(Tokyo Institute of Technology),Kuwano Kei(Tokyo Institute of Technology),Sakamoto Takeshi(Tokyo Institute of Technology),Nezu Atsushi(Tokyo Institute of Technology),Matsuura Haruaki(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 窒素プラズマ|窒素解離度|プラズマ計測|発光分光計測法|解離度計測|アクチノメトリー法|Nitrogen plasma|dissociation degree of nitrogen|diagnostics of plasmas|optical emission spectroscopy|measurement of dissociation degree|actinometry method

要約(日本語): 窒素プラズマ中の窒素解離度測定について、アクチノメトリー法が原理的に適用可能であるが、測定容易な窒素原子線が複雑な形状の第１陽帯(1PS)に重なり容易でなかった。我々は1PSのスペクトル形状を振動温度および回転温度の関数としてフィッティングして差し引き原子線抽出に成功し、窒素解離度を測定可能とした。さらに、ネオン混入時に飛躍的に窒素解離度が上昇することを見いだしたので、報告したい。

要約(英語): As a passive optical emission spectroscopy measurement method, the actinometry method to find dissociation degree of nitrogen molecule in a nitrogen discharge plasma is reported. The subtraction of the calculated 1PS spectrum from the experimentally observed observed one can successfully extract the lines of atomic nitrogen, which enables us to actinometry measurement of nitrogen dissociation degree in a general nitrogen discharge with low dissociation degree.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,492 Kバイト