バラン給電法によるＶＨＦプラズマの特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10054

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/08/12

タイトル(英語): Characteristics of VHF Plasma Produced by a Balanced Power Feeding Method

著者名: 水野 健太(岐阜大学),松岡 正典(岐阜大学),牟田 浩司(岐阜大学),西田 哲(岐阜大学),栗林 志頭眞(岐阜大学),竹内 良昭(三菱重工業),山内 康弘(三菱重工業),高塚 汎(三菱重工業)

著者名(英語): Mizuno Kenta(Gifu University),Matsuoka Masanori(Gifu University),Muta Hiroshi(Gifu University),Nishida Satoshi(Gifu University),Kuribayashi Shizuma(Gifu University),Takeuchi Yoshiaki(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd.),Yamauchi Yasuhiro(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd.),Takatsuka Hiromu(Mitsubishi Heavy Industries,Ltd.)

キーワード: バラン給電|ＶＨＦプラズマ|電子密度|電子温度|プラズマパラメータ|回路パラメータ|balanced power feed|VHF plasma|electron density|electron temperature|plasma parameter|circuit parameter

要約(日本語): ＶＨＦプラズマでは波長と電極サイズが接近し、電極は一種のアンテナとして振舞う場合が多い。この場合、電極の片方を接地する従来の給電法では不平衡回路を構成するため、電力損失が懸念される。そこで、同軸ケーブルと平行平板電極の間に平衡－不平衡変換回路（バラン）を挿入することで、不要なコモンモード電流を阻止し、給電パワーの伝送効率を改善することで、結果高電子密度、低電子温度のプラズマ生成を実現した。

要約(英語): Ｃharacteristics of the VHF plasma with a balanced power feeding method were experimentally investigated by comparison with a conventional feeding method. As a result, it was found that the power transmission efficiency was better for the balanced power feed. Subsequently, the electron temperature was lower and the electron density was higher under most experimental conditions.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 698 Kバイト