変調熱プラズマを用いた高速窒化処理におけるトーチ下流反応性ガス導入効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10056

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/08/12

タイトル(英語): High-Speed Nitridation of Titanium using Pulse Modulated Induction Thermal Plasma With Injection of Reactive Gases into Downstream of a Torch.

著者名: 藤本 健太(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Fujimoto Kenta(Kanazawa University),Tanaka Yasunori(Kanazawa University),Uesugi Yosihiko(Kanazawa University)

キーワード: パルス変調誘導熱プラズマ|窒化チタン|高速表面改質|ＸＲＤ測定|放射温度測定|質量分析

要約(日本語): パルス変調誘導熱プラズマを用いたTi窒化処理実験を行った。付加ガス（N2,H2）混入位置を変えて実験を行い,最適な窒化処理条件であるガス混入位置の探索を試みた。放射温度計とXRD測定を用いた結果から，トーチ上流部から付加ガスを混入する条件が最もよく窒化されていると判断したが，パルス変調誘導熱プラズマの効果によって処理温度を下げつつ，窒化が促進される効果があらわれたのはトーチ下流部から付加ガスを混入する条件だった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 833 Kバイト