不織布へのハイドロカーボン薄膜成膜装置の開発（Ⅰ）プラズマの電気的特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10060

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/08/12

タイトル(英語): Development of hydro-carbon deposion system for nonwoven clothes: The electrical characteristics

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),平栗 健二(東京電機大学),坂本 仁志(半一),増子 貞光(三共製作所),雫 二公雄(三共製作所)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Kenji Hirakuri(Tokyo Denki University),Hitoshi Sakamoto(Hang-Ichi Co.),Sadamitsu Masuko(Sankyo Seisakusho Co.),Fukuo Shizuku(Sankyo Seisakusho Co.)

キーワード: ＤＬＣ|プラズマＣＶＤ|容量結合プラズマ|プラズマイオンプロセス|不織布|抗菌性|DLC|Plasma CVD|Capacitive coupled plasma|Plasma ion process|nonwoven cloth|Antibacterial activity

要約(日本語): 炭化水素ガスをもちいて放電により作製されたハイドロカーボン膜は様々な興味深い特徴を持つ。我々は不織布の表面にハイドロカーボン薄膜を形成させる装置の開発を目指している。今回は試作した容量結合型高周波放電プラズマ装置の特性について報告する。

要約(英語): The DLC thin film deposited on low-melting-point polymeric material by the capacitive coupled plasma CVD has high biological affinity and antithrombogenicity. Recently, it is found that the the DLC on the polymeric fibers has antibacterial activity. We target the development of the antibacterial DLC plasma CVD system for the nonwoven clothes by the RF capacitive coupled plasma discharge overlapped pulsed DC voltage. In this report, the electrical characteristics of the deposition system are discussed s a preliminary test.

原稿種別: 日本語

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