同軸２重円筒ノズル型電極を用いたガスジェット型放電生成プラズマ光源に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10079

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/16

タイトル(英語): Study on gas-jet type DPP light source using co-axial nozzle electrodes

著者名: 滝本 泰大(東京工業大学大学院),黄 斌(東京工業大学大学院),渡邊 正人(東京工業大学大学院),堀田 栄喜(東京工業大学大学院)

著者名(英語): Takimoto Yasuhiro(Tokyo Institute of Technology),Huang Bin(Tokyo Institute of Technology),Watanabe Masato(Tokyo Institute of Technology),Eiki Hotta(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ＥＵＶ光源|Ｚピンチ|同軸２重円筒ノズル型電極|放電生成プラズマ|ＲＦ予備電離|EUV light source|Z-pinch|Co-axial double nozzle electrode|Discharge produced plasma|RF pre-ionization

要約(日本語): ＥＵＶ（極端紫外光）は次世代の半導体リソグラフィ用光源として大いに期待されている。本研究ではデブリ低減と集光角向上を目的として開発された同軸２重ノズル型電極を使用し、電極間で発生させた放電生成プラズマによりＥＵＶ放射を得ている。放電生成ＥＵＶ光源として最適なプラズマ変換効率を得るためには、いくつかの要素を制御することが必要であり、放電電流パルス、ガス密度分布、電極形状、予備電離方式などが重要なパラメータとなる。今回はそれらの内のいくつかのパラメータとＥＵＶ出力との関連性を実験により確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 500 Kバイト