プラズマ中での高エネルギー電子ビームの発生とIn-situ表面モニタリングへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10085

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/16

タイトル(英語): Production of high energy electron beams in plasmas and its application to in-situ surface mornitoring

著者名: 中村 圭二(中部大学),伊藤 慎祥(中部大学),高 軍思(中部大学),中野 由崇(中部大学),菅井 秀郎(中部大学)

著者名(英語): Nakamura Keiji(Chubu University),Itoh S(Chubu University),Gao Junsi(Chubu University),Nakano Yoshitaka(Chubu University),Sugai Hideo(Chubu University)

キーワード: 高エネルギー電子ビーム|その場表面モニタ|窒化ガリウム|high energy electron beam|in-situ surface monitoring|GaN

要約(日本語): プラズマ中に設置した電極に負の高電圧パルスを印加することで、プラズマ中に高エネルギーの電子ビームを生成した。またその電子ビームによるIn-situ表面モニタへの応用に向け、その電子ビームを、プラズマ処理している窒化ガリウム表面に照射したところ、バンド端およびバンドギャップ内の欠陥準位間での遷移に基づく発光を基材表面において確認でき、本手法が表面欠陥準位のモニタリングに応用できる可能性のあることを実験的に示した。

要約(英語): High energy electron beams were generated by applying negative high voltage pulses to electrodes in plasmas. Optical emission from surface of GaN films irradiated by the beams was also observed, suggesting possibilities of in-situ surface monitoring.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 612 Kバイト