高感度チャージプレートモニターとバイアスグリッドを用いた空気イオンバランス制御システム

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10100

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): Atmospheric Ion Balance Control System Using High Sensitivity Charged Plate Monitor and Biased Grid

著者名: ナインゴーラン シモン(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),岡野 一雄(職業能力開発総合大学校)

著者名(英語): Nainggolan Simon(Ibaraki University),Ikehata Takashi(Ibaraki University),Sato Naoyuki(Ibaraki University),Okano Kazuo(University of Industrial Technology)

キーワード: 静電気|イオナイザ|空気イオン|制御グリッド|フィードバック制御|電位センサー|electrostatics|ionizer|atmospheric ions|control grid|feedback control|voltage sensor

要約(日本語): 静電気障害の対策としてイオナイザが広く使用されている。しかし、デバイスの微細化に伴い、イオナイザが生成した正負のイオンバランスを1.0 V以下に制御することが要求されている。そこで、輸送領域内にグリッドを設け、電圧を印加し、イオンバランスの制御を試みた。また、イオンバランスの測定器として高感度チャージプレートモニターを開発し、グリッドと組み合わせ、イオンバランスの自動制御システムの製作を試みた。

要約(英語): Ionizer has been widely used to neutralize charged devices. However, charge balance of ionizer is demanded to be less than 1.0 V with the device refinement. To achieve this requirement, we are proposing ion balance control system with control grid and high sensitivity charged plate monitor.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 828 Kバイト