DLC膜の発光分光分析と機械的特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10101

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): OES analysis and mechanical properties of DLC films

著者名: 高島 舞(東京工業大学大学院),大竹 尚登(東京工業大学大学院)

著者名(英語): Mai Takashima(Tokyo Institute of Technology),Naoto Ohtake(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: パルスプラズマＣＶＤ|ＤＬＣ膜|プラズマ分光|機械的特性|pulse plasma CVD|DLC film|plasma optical emission spectroscopy|mechanical property

要約(日本語): 本研究では高時間分解能の分光器を用いて，パルス電源により生成された種々のプラズマ活性種の発光強度の時間変化を観察し，実際のDLC膜の各種特性と照合させることで，パルス電源のパラメータが，合成や膜質にどのような影響を及ぼすかを調査する．

要約(英語): In this study, we use micro pulse power supply to initiate the C2H2 plasma for DLC coatings. we indicate the plasma with a plasma optical emission spectroscopy, and verify the mechanical property with nanoindentor and so on.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 602 Kバイト