パルス電源を用いた大気圧ヘリウムプラズマジェットの光学・電気特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10105

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/17

タイトル(英語): Optical and electrical characterization of an atmospheric helium plasma jet using a pulsed power supply

著者名: 李 鉀(東京工業大学),坂井 奈津子(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Li Jia(Tokyo Institute of Technology),Sakai natsuko(Tokyo Institute of Technology),watanabe masato(Tokyo Institute of Technology),Hotta eiki(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: DBD|plasma jet|pulsed power

要約(日本語): 大気圧下で動作す並行平板DBD構造の新プラズマジェットを開発した。周波数1～10kHzのパルス電圧によりこのプラズマジェットは動作する。 動作ガスとしてはヘリウムを使用した。発光分光法により放電の特徴を解析した。電極間で生成されるバルクプラズマについてはHβ発光に広がるスペ クトル線の解析により電子密度の数値を求め、およそ1014cm-3を得た。プラズマプルームについては熱電温度計により温度を測定し、プラズマ ジェットノズルより1.5cm以内では300K以下であることが分かった。これは窒素第2正帯における0-2・1-3遷移の発光帯の微細構造 フィッティングにより確認した。プラズマプルームの長さを測定し、印加電圧と流量に伴い増加することが分かった。

要約(英語): A novel plasma jet with a plane-to-plane DBD structure working at atmospheric pressure is developed. This jet is operated at a pulsed voltage with a repetition rate of 1-10 kilohertz range. The working gas, helium, is fed into the plasma jet. The discharge has been characterized by optical emission spectroscopy. For the bulk plasma generated between electrodes, the electron density is evaluated from the analysis of the spectral line broadening of Hβ emission and found to be in the order of 1014 cm-3. For the plasma plume, its temperature is measured by a thermocouple and found to be ~ 300 K at the distance ~1.5 cm from plasma jet nozzle, which is also verified by using the fitting the fine structure of the emission bands of N2 2nd positive system 0-2 and 1-3 transitions. The plasma plume length is measured and found that it increases with applied voltage and flow rate.

原稿種別: 日本語

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