誘導性結合高周波CH4/H2プラズマの実験とグロ－バルモデル

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10108

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/18

タイトル(英語): Experiments and global model of inductive RF CH4/H2 plasmas

著者名: 木村 高志(名古屋工業大学),春日井 宏樹(名古屋工業大学)

著者名(英語): Kimura Takashi(Nagoya Institute of Technology),Kasugai Hiroki(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: プローブ|発光分光法|メタン|水素|誘導性結合プラズマ|グロ－バルモデル|Probe|optical emission spectroscopy|methane|hydrogen|inductive plasma|global model

要約(日本語): プロ－ブ法ならびに発光分光法を用いて、誘導性結合高周波メタン・水素混合放電プラズマのプラズマ特性を調べた。電子密度は水素混入率の増加に伴い減少する一方、電子温度は徐々に増加していた。主なガス組成は、任意の水素混入率で水素原子ならびに水素分子と予想され、水素原子密度は水素混入率にほとんど依存せず、一方、相対水素分子密度は混入率の増加に伴い増加していた。メタン・水素混合放電プラズマのプラズマケミストリを研究するためにグロ－バルモデル解析を行い、実験との比較を行った。

要約(英語): Experiments with a Langmuir probe and optical emission spectroscopy are carried out in inductive CH4/H2 discharges. The electron density decreases with increasing hydrogen fraction, whereas the electron temperature increases. The atomic hydrogen density does not strongly depend on the fraction, whereas the relative H2 density increases. A global model is used to understand the plasma chemistry in CH4 /H2 discharges. The model results are compared with the experimental results, obtaining reasonably good agreement.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 500 Kバイト