ICP合成によるPET上ZnO透明導電膜の基材温度依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST10126

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2010/12/18

タイトル(英語): The substrate temperature dependences of the ZnO transparent conductive film on PET in the ICP synthesis

著者名: 柳澤 真也(茨城大学),岸田 智和(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Shinya Yanagisawa(Ibaraki University),Kishida Tomokazu(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: ＺｎＯ透明導電膜　|誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）|Ｚｎ－Ｏ２混合プラズマ|低融点絶縁基材|ZnO transparent conductive film |Inductively Coupled Plasma (ICP)|Zn-O2 mixture plasma|insulation substrate with low melting point

要約(日本語): ITO透明導電膜(TCF)の代替材料を念頭におき，ガラスに比べ応用範囲の広いPET上にZnO-TCFをZn-O2混合のVHF帯ICPで合成している．可視光透過率ζ=90％，シート抵抗Rs=500Ω/□の特性が得られている．基材入射するイオン衝撃による過剰な基材加熱は基材変形を引き起こしRsが高くなる．今回は，実験条件を広範囲に変え，正確な基材温度Tsubを測定し，RsとTsubの関係を調べている．(本研究では，ITO透明導電膜(TCF)の代替材料を念頭におき，基材であるガラスに比べ応用範囲の広いPETフィルム上にZnO-TCFをプラズマ合成している．インジウムの資源枯渇による原価の高騰が予想されているので，資源が豊富であり，高い光透過率且つITOには劣るものの低いシート抵抗を持つZnOに注目している．背景圧力を10-4 Pa台までとし， 6N O2ガスを10-2 Pa台で導入し，酸素と亜鉛のフラックスが制御されたZn-O2 混合のVHF帯誘導結合プラズマ(ICP)を生成する．その際，コイルの外側をメッシュのシールドで覆うことで，石英管内部にのみ高密度プラズマが発生するよう工夫している．ノンドープ条件下においてガラス基材上で可視光透過率ζ=90％以上，及びシート抵抗Rs=80Ω/□，PETフィルム基材上でζ=90％以上，及びRs=500Ω/□の特性が得られている．PETフィルムはガラス転移温度が約80℃と低く，またガラスに比べ低融点且つフレキシブルであるため，合成する際の基材温度に注意しなければならない．基材入射するイオンの衝撃による基材加熱により結晶性が良くなりRsは低くなるが，PETフィルムにおいての過剰な加熱は基材変形を引き起こしRsが高くなってしまう．そこで今回は，更なる特性改善に向けて，プラズマ生成条件や堆積条件を広範囲に変えて，より正確な基材の温度Tsubを測定し，RsとTsubの関係を調べている．)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 734 Kバイト