多接合太陽電池向けフルスペクトルZnO透明導電膜の低気圧高周波プラズマ合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11002

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/03/14

タイトル(英語): Low pressure rf plasma synthesis of full spectrum transparent ZnO conductive film for multi-junction solar cells

著者名: 佐藤 直幸(茨城大学),吉田 善紀(茨城大学),柳澤 真也(茨城大学),岸田 智和(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Naoyuki Sato(Ibaraki University),Yoshinori Yoshida(Ibaraki University),Shinya Yanagisawa(Ibaraki University),Tomokazu Kishida(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: 多接合太陽電池|低気圧高周波プラズマプロセシング|亜鉛－酸素混合プラズマ|ＺｎＯ透明導電膜|広帯域光透過特性|低シート抵抗|multi-junction solar cells|low pressure rf plasma processing|zinc-oxygen mixture plasma|ZnO transparent conductive film|wide band optical transmittance|low sheet resistance

要約(日本語): 多接合太陽電池の透明電極を念頭におき，亜鉛-酸素混合のVHF帯誘導結合プラズマを用いて，低抵抗で紫外から近赤外に亘り透明なZnO透明導電膜を合成している．これまで，ノンドープ条件で波長範囲380～2100 nmで平均光透過率 ＞ 80 %，シート抵抗 ＜ 15 Ω/□が得られている．混合プラズマのプローブ，質量，及び分光測定を通して，酸素分子の解離に着目し，特性向上に与えるプラズマ制御の効果を報告する．

要約(英語): For the transparent electrode applied to multi-junction solar cells, we have been investigating to decrease the sheet resistance of undope ZnO transparent conductive film with keeping the high transparency on the near-infrared region as the oxygen atom density of our unique Inductively Coupled Plasma is relatively increased with no change of other processing parameter.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 6,179 Kバイト