高周波プラズマによる機能性薄膜合成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11006

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/03/14

タイトル(英語): Preparation of functional thin film with radio frequency plasma

著者名: 大津 康徳(佐賀大学)

著者名(英語): Ohtsu Yasunori(Saga University)

キーワード: 高周波プラズマ|容量結合プラズマ|誘導結合プラズマ|機能性薄膜

要約(日本語): 容量結合プラズマや誘導結合プラズマを用いた機能性薄膜合成に関する実験結果を報告する。具体的には、陶磁器表面への透明・撥水な薄膜コーティング、ポリカーボネイトへの撥水薄膜合成、アモルファス炭素薄膜合成などについて報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 850 Kバイト