100 kW級ペンニング型パルスグローの発生

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11009

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/05/27

タイトル(英語): Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge

著者名: 行村 建(産業技術総合研究所),小木曽 久人(産業技術総合研究所),中野 禅(産業技術総合研究所),東 欣吾(兵庫県立大学),Ehiasarian Arutiun P. (Sheffield Hallam University)

著者名(英語): Yukimura Ken(AIST ),Ogiso Hisato(AIST ),Nakano Shizuka(AIST),Azuma Kingo(Hyogo University),Ehiasarian Arutiun P (Sheffield Hallam University)

キーワード: 大電力グロー|HPPS|Glow

要約(日本語): 大電力パルスペニング放電の電気的特性を観測した。結果として10ｋW/cm2が得られた。

要約(英語): We have developed a plasma source in a glow mode with an instantaneous power as high as 100 kW. This belongs to a Penning type discharge plasma generation. Sputter target has a pair of targets with a size of 24 mm x 20 mm with a gap length of 10 mm. A power of 100 kW is realized. Hence the power density is 10 kW/cm2, where the target current is approximately 200 A and the target voltage is approximately 500 V. Thus, a high power density can be realized by smaller size of the plasma source.

原稿種別: 日本語

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