マイクロ波励起プラズマのSelf-consistentシミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11010

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/05/27

タイトル(英語): A Self-consistent Simulation of Microwave-excited Plasma

著者名: キム ドンミン(東京大学大学院),大崎 博之(東京大学大学院)

著者名(英語): Kim Dongmin(The University of Tokyo),Ohsaki Hiroyuki(The University of Tokyo)

キーワード: マイクロ波励起プラズマ|Ｓｅｌｆ－ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ　シミュレーション|ＦＤＴＤ|ドリフト‐拡散モデル|Microwave excited Plasma|Self-consistent Simulation|FDTD|Drift-Diffusion Model

要約(日本語): 本研究ではマイクロ波励起プラズマにおける電磁波伝搬特性とプラズマパラメータを同時に解析できるSelf-consistentシミュレーションツールを開発してきた．具体的には，電磁波伝搬解析の一つの手法であるFDTD法に電子の運動量保存則を組み込むことでプラズマを媒体とするマイクロ波の伝搬特性を求めてから，プラズマ側のエネルギー吸収分布を計算し，電子とイオンの粒子保存則や運動量保存則，エネルギー保存則を基にプラズマパラメータの分布を解析している．今回の研究会では，開発されたシミュレーションツールの解析方法や実際の装置での解析例を発表する予定である．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,210 Kバイト