ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを用いた表面親水化および酸化膜除去

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11035

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/05/28

タイトル(英語): Hydrophilization and Oxide Removal using Damage-Free Multi-Gas Plasma Jet

著者名: 柴田 萌(東京工業大学),平位 英之(東京工業大学),高松 利寛(東京工業大学),佐々木 良太(東京工業大学),宮原 秀一(東京工業大学),沖野 晃俊(東京工業大学)

著者名(英語): Shibata Moe(Tokyo Institute of Technology),Hirai Hideyuki(Tokyo Institute of Technology),Takamatsu Toshihiro(Tokyo Institute of Technology),Sasaki Ryota(Tokyo Institute of Technology),Miyahara Hidekazu(Tokyo Institute of Technology),Okino Akitoshi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|マルチガスプラズマ|ダメージフリープラズマ|プラズマ応用|表面親水化|酸化膜除去|Atmospheric plasma|Multi-gas plasma|Damage-free plasma|Plasma application|Surface hydrophilization|Oxide removal

要約(日本語): 従来の大気圧プラズマ源では，プラズマ化できるガス種に制限があり，かつ処理対象物への熱や放電による損傷が問題であった。我々はこれらの問題を解決した，ダメージフリーマルチガスプラズマジェットを開発した。本研究では，このプラズマ源を用いて表面親水化実験を行い，ガス種およびプラズマ処理雰囲気による効果の違いを調査した。また，水素混合プラズマによる酸化膜高速除去の実験を行った。

要約(英語): Conventional atmospheric plasma sources have limitation of usable plasma gas species and problem of thermal or electric discharge damage to targets. Our damage-free multi-gas plasma jet doesn’t have these weaknesses.In this study, surface hydrophilization was tested using various kinds of plasma gas, experiment atmosphere and effectiveness was investigated. High-speed oxide removal was also tested using hydrogen-mixed plasma.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,774 Kバイト