パルス変調誘導熱プラズマを用いた高速窒化処理における窒素イオン寄与効果の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11037

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/07

タイトル(英語): Effect of Nitrogen Ion Irradiation on High-Speed Nitridation using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 春多 洋佑(金沢大学),藤本 健太(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Haruta Yosuke(Kanazawa University),Fujimoto Kenta(Kanazawa University),Tanaka Yasunori(Kanazawa University),Uesugi Yoshihiko(Kanazawa University)

キーワード: パルス変調誘導熱プラズマ|窒化処理|ＸＲＤ分析|イオン電流|硬度測定|Pulse-Modulated Induction Thermal Plasma|Niridation Processing|X-ray diffraction|Ion Current|Hardness Test

要約(日本語): 本研究室ではパルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)を用いた金属表面高速窒化処理の検討を行ってきた。PMITPを用いた場合、変調を大きくすることで励起窒素原子数が増加する。また、試料への熱的ダメージを抑えつつ窒化層形成促進効果があることも確認している。今回、窒化層形成におけるイオンの寄与効果を確認するため、試料へ負バイアス電圧を印加した。実験結果より、イオンを高速照射することで窒化層形成促進効果があることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,481 Kバイト