発光分光計測を用いたマイクロ波放電窒素プラズマのN2+の振動、回転温度評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11039

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/07

タイトル(英語): Estimation of Vibrational and Rotational Temperatures of N2+ of Microwave Discharge Nitrogen Plasma by Optical Emission Spectroscopy Measurement

著者名: 川野 泰和(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学),松浦 治明(東京工業大学),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Kawano Hirokazu(Tokyo Institute of Technology),Nezu Atsushi(Tokyo Institute of Technology),Matsuura Haruaki(Tokyo Institute of Technology),Akatsuka Hiroshi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 窒素プラズマ|プラズマ計測|発光分光計測法|スペクトル理論計算|振動温度|回転温度|Nitrogen plasma|diagnostics of plasma|optical emission spectroscopy|theoretical calculation of spectrum|vibrational temperature|rotational temperature

要約(日本語): これまで我々は、分光計測を用いてマイクロ波放電窒素プラズマにおけるN2の振動、回転温度を計測し、プラズマ中の熱構造及び非平衡性の解明を行ってきた。本研究では、N2+からの発光である1NS(B2Σ+u→X2Σ+g)に着目し、理論値と実験値のフィッティングによってB2Σ+u状態の振動、回転温度を見積もった。そして見積られたN2+とN2の振動、回転温度の比較、検討を行った結果、N2+の回転温度がN2のに比べてかなり大きいことを見出した。

要約(英語): The first negative system of the nitrogen-molecule ion is measured by optical emission spectroscopy to examine the vibrational and rotational temperatures of molecule ion N2+ state. The experimentally measured spectra are compared with the theoretically calculated ones to determine the temperatures of the generated plasma.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,978 Kバイト