白金触媒プローブによる酸素ラジカル密度測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11040

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/07

タイトル(英語): Oxygen radical density measurement using Pt catalytic probe

著者名: 小野 茂(東京都市大学),千葉 隼人(東京都市大学),蛭川 能成(東京都市大学)

著者名(英語): ONO SHIGERU(Tokyo City University),CHIBA HAYATO(Tokyo City University),HIRUKAWA YOSHINARI(Tokyo City University)

キーワード: 酸素ラジカル|触媒プローブ|大気圧|プラズマクリーニング|親水性|表面処理|Oxygen radical|Catalytic probe|Atmospheric pressure|Plasma cleaning|Hydrophilic nature|Surface treatment

要約(日本語): 白金触媒プローブを用いた酸素ラジカルの計測について、低気圧プラズマから大気圧プラズマまでの広い範囲についての測定に関する報告

要約(英語): Oxygen radical density measurement using Pt catalytic probe are reported. The pressure range of plasma is from a low pressure to atmospheric pressure.The relation between radical density and plasma cleaning treatment is also reported.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,038 Kバイト