シャンティンググローの発生

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11044

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/07

タイトル(英語): A new approach of high-power pulsed glow-plasma generation -shunting glow plasma-

著者名: 行村 建(産業技術総合研究所),小木曽 久人(産業技術総合研究所),中野 禅(産業技術総合研究所),高木 浩一(岩手大学)

著者名(英語): Yukimura Ken(AIST),Ogiso Hisato(AIST),Nakano Shizuka(AIST),Takaki Koichi(Iwate University)

キーワード: ｓｈｕｎｔｉｎｇ　ａｒｃ|ｐｕｌｓｅｄ　ｇｌｏｗ|ｐｌａｓｍａ|ｈｉｇｈ－ｐｏｗｅｒ

要約(日本語): シャンティングアークの工夫によりグロープラズマを生成した。

要約(英語): A carbon shunting glow is generated to prepare carbon films onto a substrate set nearby the plasma source. The rod holder plays a role of electrode for the arcs. In the case of the glow plasma, no damage without electrode spots is observed, while many spots are observed on the rod holder in the case of arcs.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 10,279 Kバイト