Ａｒイオンビーム照射による金属材料表面の形状変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11065

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/09

タイトル(英語): Topographical change of metal surface bombarded by Ar ions

著者名: 鷹尾 良行(西日本工業大学)

著者名(英語): Takao Yoshiyuki(Nishinippon Institute of Technology)

キーワード: スパッタリング|イオンビーム|アモルファス合金|表面形状変化|Ａｒイオン|Sputtering|Ion beam|Amorphous alloy|Topographical change|Ar ion

要約(日本語): イオンビーム照射によって、金属材料に特徴的な表面形状が形成される。20keV で加速したArイオンビームをアモルファス合金に照射し、その表面形状変化の観察結果および、イオンビーム照射による表面形状観察の応用例について報告する。

要約(英語): Characteristic microfeatures are produced and developed on metal surfaces by irradiation with ions. Topographical changes of thin wire surface of amorphous alloy during 20 keV argon ion bombardment have been observed by using a Scanning Electron Microscope. The observed results and their applications have been reported.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 520 Kバイト