プラズマが誘起する表面反応の赤外分光解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11069

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/08/09

タイトル(英語): Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions

著者名: 篠原 正典(長崎大学),原 幸治郎(長崎大学),高見 佳生(長崎大学),高木 雄也(長崎大学),深江 陽大(長崎大学),天野 勝裕(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学)

著者名(英語): Shinohara Masanori(Nagasaki University),Hara ko-jiro(Nagasaki University),Takami Yoshiki(Nagasaki University),Takaki Yu-ya(Nagasaki University),Fukae Akihiro(Nagasaki University),Amano Katsuhiro(Nagasaki University),Matsuda Yoshinobu(Nagasaki University),Fujiyama Hiroshi(Nagasaki University)

キーワード: 赤外分光法|プラズマ誘起|表面反応|プラズマプロセス|infrared spectrosocpy|Plasma Induced|surface reactions|Plasma Process

要約(日本語): プラズマが誘起する表面反応の制御は、膜堆積および表面処理において重要である。しかしプラズマ中での反応解析ができる方法は限られている。有力は計測手段の1つとして、赤外分光法が挙げられる。さらに、プリズムを用いて表面で多重反射させることで表面感度を向上させることが可能である。これまで我々は、多重内部反射赤外分光法を用いて様々な表面反応について調べてきた。本発表では実験方法および解析例について報告する。

要約(英語): Plasma induced surface reaction is important to film deposition and surface modification. However the number of measurement methods of the surface reactions is limited. One of the promising methods is infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). We show the measurement method and analysis of the reactions in this presentation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,721 Kバイト