高周波リング状ホロー陰極放電プラズマ生成に及ぼす溝形状の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11087

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/15

タイトル(英語): Influence of groove shape on RF ring-shaped hollow cathode discharge plasma production

著者名: 大津 康徳(佐賀大学),矢羽田 祥貴(佐賀大学),加々見 丈二(神港精機),川下 安司(神港精機),竹内 達也(神港精機),三沢 達也(佐賀大学)

著者名(英語): Ohtsu Yasunori(Saga University),Yahata Yoshiki(Saga University),Kagami Johji(Shinko Seiki Co.,Ltd.),Kawashimo Yasushi(Shinko Seiki Co.,Ltd.),Takeuchi Tatsuya(Shinko Seiki Co.,Ltd.),Misawa Tatsuya(Saga University)

キーワード: 容量結合プラズマ|ホロー陰極効果|リング状ホロー電極|溝形状|Capacitive coupled plasma|Hollow cathode effect|Ring-shaped hollow electrode|groove shape

要約(日本語): 容量結合プラズマは、構造が簡単で、大面積プロセスが可能であるというメリットがあることから、現在でも半導体プロセス装置として広く利用されている。しかしながら、プラズマ密度が低く、生産性が悪いというデメリットがある。このため容量結合プラズマにおける高密度プラズマの開発が必要となる。本研究では、リング状ホロー電極を使用し、ホロー陰極効果による高密度プラズマの生成を目的とし、さらにプラズマ生成に及ぼすホロー電極の溝形状の影響について検討、改善を行った。その結果について講演する予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 862 Kバイト