レーザアブレーションスズプラズマの電子密度の時間空間分布

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11091

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Temporal and spatial electron density distributions of the laser ablation tin plasma

著者名: 武藤 敬宏(東京工業大学),朱 秋石(東京工業大学),渡辺 正人(東京工業大学),堀田 栄喜(東京工業大学)

著者名(英語): Muto Takahiro(Tokyo Institute of Technorogy),Zhu Qiushi(Tokyo Institute of Technorogy),Watanabe Masato(Tokyo Institute of Technorogy),Hotta Eiki(Tokyo Institute of Technorogy)

キーワード: 電子密度|ＥＵＶリソグラフィ|レーザ生成プラズマ|Electron density |EUV lithography|Laser produced plasma

要約(日本語): EUVリソグラフィ用光源として応用されるレーザアシスト型放電生成スズプラズマの放電課程を理解するため，レーザ生成スズプラズマの電子密度の時間空間分布が測定された。プラズマ生成のために，パワー密度3.5×10^11 W/cm^2のNd:YAGレーザがレンズを通して固体スズ表面に照射される。電子密度はSn IIのスペクトル線のシュタルク広がりとノマルスキー微分干渉計の2つの方法によって測定された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,783 Kバイト