Cu2O系PVセルのＥＣＲ酸素プラズマ作製におけるセル特性のプロセス条件依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11092

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Process condition dependence of PV cell properties by ECR oxygen plasma fabrication of cell based on Cu2O

著者名: 森口 琢也(茨城大学大学院),春田 悠喜(茨城大学大学院),相田 拓也(茨城大学大学院),池畑 隆(茨城大学大学院),佐藤 直幸(茨城大学大学院)

著者名(英語): Moriguchi Takuya(Ibaraki University),Haruta Yuki(Ibaraki University),Aida Takuya(Ibaraki University),Ikehata Takashi(Ibaraki University),Sato Naoyuki(Ibaraki University)

キーワード: 酸化銅|電子サイクロトロン共鳴放電|酸素プラズマ|水素プラズマ|基板加熱|光起電力|copper oxide|ECR discharge|oxygen plasma| hydrogen plasma|substrate heating|photovoltaic power

要約(日本語): Cu2O系PVは，光吸収係数が高いことから多接合型太陽電池のトップセルとして注目されている．本研究では，ECRプラズマを用いて，基板温度を下げ，短時間でCu2Oを形成している．プラズマ照射時間や基板電圧などのプロセス条件により，基板温度を制御することでCu2Oの割合を高め，光起電力の向上が見込まれる．今回は開放電圧や短絡電流などの基本的なセル特性とプロセス条件の依存性を調べたので報告する．

原稿種別: 日本語

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