プラズマプロセスの赤外分光診断

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11093

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): infrared spectroscopic diagnostics of plasma process

著者名: 篠原 正典(長崎大学),高木 雄也(長崎大学),原 幸治郎(長崎大学),高見 佳生(長崎大学),天野 勝裕(長崎大学),深江 陽大(長崎大学),松田 良信(長崎大学),藤山 寛(長崎大学)

著者名(英語): Shinohara Masanori(Nagasaki University),Takaki Yu-ya(Nagasaki University),Hara Ko-jiro(Nagasaki University),Takami Yu-ya(Nagasaki University),Amano Katsuhiro(Nagasaki University),Fukae Akihiro(Nagasaki University),Matsuda Yoshinobu(Nagasaki University),Fujiyama Hiroshi(Nagasaki University)

キーワード: 赤外分光法|プラズマプロセス|診断|infrared spectroscopy|plasma process|diagnostics

要約(日本語): プラズマプロセスを赤外分光法を用いて「その場」で計測を行っている。現在、酸素プラズマとアモルファス炭素膜の反応を調べた。

要約(英語): Plasma process has been investigated with “in-situ”infrared spectroscopy. Interaction of hydrogen plasma with Si surfaces and that of oxygen plasma with amorphous carbon films have been investigated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 665 Kバイト