HIPIMS法によるチタン成膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11106

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Titanium film deposition using HIPIMS

著者名: ジン フェンジュアン(西南交通大学),フアン ナン(西南交通大学),行村 建(西南交通大学)

著者名(英語): Jing Fengjuan(Southwest Jiaotong University),Huan Nan(Southwest Jiaotong University),Yukimura Ken(Southwest Jiaotong University)

キーワード: ＨＩＰＩＭＳ|グロー|ＸＲＤ|HIPIMS|Glow|XRD

要約(日本語): HIPIMS法によるチタン成膜

要約(英語): Titanium film preparation using HIPIMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,612 Kバイト