ヘリコンダブルレイヤープラズマの電子エネルギー分布解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11110

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): Electron energy distribution of a helicon double layer plasma

著者名: 高橋 和貴(The Australian National University [現所属：岩手大学]),Charles Christine(The Australian National University),Boswell Rod(The Australian National University),藤原 民也(岩手大学)

著者名(英語): Takahashi Kazunori(The Australian National University [Permanent address: Iwate University]),Charles Christine(The Australian National University),Boswell Rod(The Australian National University),Fujiwara Tamiya(Iwate University)

キーワード: ヘリコンダブルレイヤー|電子エネルギー分布|ドゥリベステイン分布|helicon double layer|electron energy distribution|Druyvesteyn distribution

要約(日本語): 粒子バランス方程式に分布関数の形状の効果を取り入れて，ヘリコンダブルレイヤープラズマ源における電子エネルギー分布関数の解析を行った．これまでの実験で観測された分布関数はダブルレイヤーの電位降下に相当するエネルギー以上の電子が枯渇した形状を示し，これはドゥリベステン分布でよく近似できることが分かった．ドゥリベステン分布を仮定したバランス方程式から得られる実効電子温度は，配位の異なる二つの実験装置で観測された値をよく説明できることが明らかになった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,229 Kバイト