Ar-O2混合ガス表面波プラズマによるポリイミドの表面改質

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST11118

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2011/12/17

タイトル(英語): Surface modification of polyimide using oxygen surface wave plasma

著者名: 蛭川 能成(東京都市大学),鈴木 脩一(東京都市大学),菅谷 洋平(東京都市大学),小野 茂(東京都市大学)

著者名(英語): Hirukawa Yoshinari(Tokyo City University),Suzuki Syuiti(Tokyo City University),Sugaya Youhei(Tokyo City University),Ono Shigeru(Tokyo City University)

キーワード: 表面波プラズマ|ポリイミド|表面改質|電子温度|電子密度|酸素ラジカル密度|Surface wave plasma| Polyimide|Surface modification| Electron temperature|Electron density|Oxygen radical density

要約(日本語): 広く産業用に用いられるプラスチック材料の中でも、強固で安定なポリイミドはフレキシブルプリント基板のベース材料として利用される。ポリイミドをフレキシブルプリント基板へ加工する際にはポリイミド表面に十分に、また均一に銅薄膜が接着されるために、表面の親水性が重要となる。本研究では、プラズマ中の酸素ラジカル密度及びプラズマパラメータに注目して、酸素表面波プラズマでポリイミドの表面改質を行った。

要約(英語): Polyimide is widely used for industrial use. Polyimide is made up into flexible printed　circuit board. In order to make up polyimide into flexible printed circuit board, the hydrophile property on surface of polyimide is important. In this research, surface modification of polyimide was performed using oxygen surface wave plasma.

原稿種別: 日本語

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