カーボン系透明導電膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST13004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2013/03/15

タイトル(英語): carbon transparent conductive film

著者名: 長谷川 雅考(産業技術総合研究所,技術研究組合ＴＡＳＣ),山田 貴壽(産業技術総合研究所,技術研究組合ＴＡＳＣ),石原 正統(産業技術総合研究所,技術研究組合ＴＡＳＣ),沖川 侑揮(産業技術総合研究所,技術研究組合ＴＡＳＣ),津川 和夫(技術研究組合ＴＡＳＣ),嶋田 那由太(技術研究組合ＴＡＳＣ),川原田 洋(早稲田大学)

著者名(英語): Hasegawa Masataka(AIST,TASC),Yamada Takatoshi(AIST,TASC),Ishihara Masatou(AIST,TASC),Okigawa Yuki(AIST,TASC),Tsugawa Kazuo(TASC),Shimada Nayuta(TASC),Kawarada Hiroshi(Waseda University)

キーワード: グラフェン|表面波プラズマ|ロールＴＯロール|透明導電フィルム|ナノ結晶ダイヤモンド薄膜|ｐ形透明導電フィルム|Graphene|Surfacewave Plasma|Roll-to-roll|Transparent Conductive Films|Nanocrystalline Diamond films|p-Type

要約(日本語): 化学気相堆積技術を用いて，カーボン系透明導電膜をプラズマ合成している．産業向けにロールトゥロール方式によりグラヘェン材料を用いて透明導電膜の大面積合成法を確立した．また，p型導電性の高い光透過率を持つ薄膜がナノクリスタルダイヤモンド膜上に得られた結果を報告する．

要約(英語): Chemical vapor deposition (CVD) technique of graphene has been developed at substrate temperature around 300C by microwave plasma sustained by surface waves (surface wave plasma chemical vapor deposition, SWP-CVD). Fabricated graphene transparent conductive electrode exhibited uniform optical transmittance and sheet resistance, which suggests possibility of graphene for practical electrical and optoelectronic applications. We have developed the roll-to-roll SWP-CVD system for continuous graphene film deposition toward an industrial mass production. A pair of the winder and the unwinder system of Cu film has been installed in the plasma CVD apparatus. We also report that highly optical transparency combining with excellent p-type conductivity was obtained on nanocrystalline diamond films subjecting to effective deep boron doping modulation.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 763 Kバイト