パルス放電における波形データからの雑音の除去方法 （局所的な３次関数近似による平滑化）

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST13013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2013/03/16

タイトル(英語): The Noise Reduction Method from the Electrical Wave Data in the Pulsed Discharge (Smoothing by partial cubic least squares approximation)

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo)

キーワード: パルス放電|波形処理|３次関数近似|最小二乗法|ＨｉＰＩＭＳ|ＨＰＰＭＳ|pulsed discharge|waveform processing |cubic function approximation|least squares method|HiPIMS|HPPMS

要約(日本語): ハイパワーマグネトロンスパッタ放電、大気圧パススジェット放電はパルスパワー技術を生かしたプラズマ生成技術である。この種の放電から電気的特性を読み取る場合デジタルオシロスコ－プ（ＤＳＯ）が用いられるが、波形データから電気的なマクロ情報を読み出すことが難しくなる。その原因はＤＳＯの垂直軸分解能の低さとと信号前処理の困難さにある。今回は単パルス放電の波形処理方法について報告する。

要約(英語): High power pulsed magnetron sputtering discharge and atmospheric pulsed jet discharge are the plasma production technology which employed pulse power technology. In order to read an electrical property in these discharge phenomena, A digital strage oscilloscope (DSO) is used. However, it is difficult to obtain a differential waveform from the sampled electrical wave data because the vertical-axis resolution of DSO is low and sampled waveform is overlapped on a quantization noise. This report describes the waveform processing method of pulsed discharge.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,205 Kバイト