酸素マイクロ波プラズマによるポリイミドの表面改質

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST13016

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2013/03/16

タイトル(英語): Surface modification of polyimide by oxygen microwave plasma

著者名: 鈴木 脩一(東京都市大学),小野 茂(東京都市大学)

著者名(英語): Suzuki Shuichi(Tokyo City University),Ono Shigeru(Tokyo City University)

キーワード: マイクロ波プラズマ|表面改質|ポリイミド|酸素ラジカル|プラズマパラメーター|Microwave plasma|Surface modification|Polyimide|Oxygen radical|Plasma parameter

要約(日本語): 酸素マイクロ波プラズマを用いて化学的に活性な酸素ラジカルを生成し、ポリイミドの表面改質を行なった。特に酸素ラジカルの表面改質への効果を明らかにするために、アルゴンに対する酸素の混合割合を変化させ、酸素ラジカルの生成量のみを制御し、酸素ラジカルの効果を解明することを狙っている。これらの結果は、大気圧プラズマ装置による表面改質及び表面波プラズマによる表面改質の結果と比較検討を行う。

要約(英語): The purpose of this paper is to clarify the relationship between the hydrophilic treatment of polyimide and oxygen radical density. Argon oxygen mixed gas plasma was generated by a low pressure microwave discharge. The number of oxygen radical density was measured by the catalytic probe. Oxygen radical density relationship for hydrophilic treatment was discussed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 804 Kバイト