sp3-結合性ＢＮ多形薄膜のレーザ支援プラズマＣＶＤによる成長

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST13021

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2013/03/16

タイトル(英語): Laser-assisted plasma CVD of sp3-bonded BN polytypic films

著者名: 小松 正二郎(物質・材料研究機構)

著者名(英語): Komatsu Shojiro(National Insititute for Materials Science)

キーワード: 窒化ホウ素|レーザ|プラズマ|多形|自己組織化|BN|laser|plasma|polytypism|self-organization

要約(日本語): 193nmの紫外レーザを併用したプラズマＣＶＤにより成長するsp3-結合性ＢＮ結晶薄膜の結晶構造と自己組織的形態形成がもたらす機能、及び、その形成機構に関して述べたい。

要約(英語): Excimer-laser assisted plasma CVD produces sp3-bonded BN with functional morphology and specific crystal structures. The growth mechanism and especially the pattern formation should be understood with regard to the nonlinear dynamical system theory.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,531 Kバイト