コロナ放電荷電粒子の生成と輸送特性に及ぼす雰囲気ガスの効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST13023

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2013/03/16

タイトル(英語): Effect of atmospheric gas on the generation and transportation of charged-particles generated by corona discharge

著者名: Yudi Kristanto(茨城大学),岡野 一雄(職業能力開発総合大学校),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学)

著者名(英語): Kristanto Yudi(Ibaraki University),Kazuo Okano(Polytechnic University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University)

キーワード: イオナイザ|コロナ放電|静電気障害|荷電粒子|イオン|除電技術|Ionizer|Corona discharge|electrostatic damage|charged-particle|ion|neutralization technology

要約(日本語): 電子デバイスの製造工程において、静電気による帯電したデバイスを除電する際、コロナ放電型イオナイザが広く使用されている。このイオナイザは、エミッタと呼ばれる針状の電極にコロナ放電を発生させ、作業雰囲気をイオン化し、正負の荷電粒子を生成し、帯電されたデバイスを除電する。最適な除電を行うためには、生成された荷電粒子の生成と輸送特性を明確にしておく必要がある。本研究では大気圧におけるイオナイザの動作条件と除電性能の関係を調べ、コロナ放電による生成された荷電粒子の生成特性や輸送特性を検討する。

要約(英語): In the manufacturing process of electronic device, a corona discharge-type ionizer is widely used to neutralize charged devices. The Ionizer neutralizing charged device by generating a corona discharge, produce charged-particles by ionizing working atmosphere and send them to the charged devices. In this study we investigated relation between operating conditions and neutralizing performance of the ionizer, and discussed the generation and transportation characteristic of charged-particles that are generated by corona discharge at atmospheric pressure.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,333 Kバイト