ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマの二次元流体シミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PST16081

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 プラズマ研究会

発行日: 2016/10/20

タイトル(英語): Two-dimensional Fluid Simulation of Low-Pressure and Radio-Frequency Hydrocarbon Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films

著者名: 大木 一真(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Kazuma Ohki(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|炭化水素|低圧高周波プラズマ|シミュレーション|Diamond-like carbon|Hydrocarbon|Low-pressure and radio-frequency plasmas|Simulation

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、高硬度、低摩擦性、耐摩耗性などの特性を有するため、自動車部品の摺動部のコーティングなど幅広い分野で利用されている。その際、プラズマCVD法によるDLC成膜は、成膜源である炭化水素イオンやラジカルを効率よく生成可能である。本研究では、空間二次元流体モデルによりDLC成膜用の炭化水素プラズマの解析を行ったので,その結果に関して報告する。

要約(英語): Diamond-Like Carbon (DLC) films have been utilized for various technological applications such as the coating of car parts, because of excellent properties (e.g. higher hardness, lower friction, and wear resistance) of DLC films. In this study, hydrocarbon plasmas for DLC films deposition have been simulated using an axially-symmetric three-dimensional fluid model.

原稿種別: 日本語

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