電極の接近速度が金属間ESDに及ぼす影響の一検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2012/05/01

タイトル(英語): Influence of Approaching Speed of Grounded Electrode on ESD from Charged Metal

著者名: 吉田　孝博（東京理科大学 工学部 電気工学科），増井　典明（東京理科大学 工学部 電気工学科）

著者名(英語): Takahiro Yoshida (Dept. of Electrical Engineering, Tokyo University of Science), Noriaki Masui (Dept. of Electrical Engineering, Tokyo University of Science)

キーワード: 静電気放電 (ESD)，接近速度，放電開始ギャップ長，放電電流波形　　electrostatic discharge (ESD)，approaching speed，gap length of discharge inception，discharge current waveform

要約(英語): In this study, we considered the influences of approaching speed of the grounded electrode on characteristic of ESD from charged metal. The approaching speed ranges from 0.04mm/s to 4mm/s. The radius of curvature of the semispherical copper electrode is 10mm. From experimental results, we found that the approaching speed affected the distribution of the gap length of discharge inception. This change of the gap length led to change the shape of the discharge current waveform, the 1st peak current and their rising speed.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.132 No.5 （2012） 特集：静電気放電（ESD）のEMC技術

本誌掲載ページ: 381-382 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/132/5/132_5_381/_article/-char/ja/