カーボンナノ材料の創製のためのプラズマプロセシング―ナノ構造の合成およびそのプロセス制御のためのモデリング手法―

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2012/06/01

タイトル(英語): Plasma Processing for Carbon Nanomaterials―Syntheses of Nanostructures and their Process Control by Numerical Simulation of Plasma―

著者名: 須田　善行（豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系），滝川　浩史（豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系），田上　英人（豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系）

著者名(英語): Yoshiyuki Suda (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology), Hirofumi Takikawa (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology), Hideto Tanoue (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology)

キーワード: プラズマ支援化学気相堆積（PECVD），カーボンナノチューブ（CNT），触媒，数値シミュレーション，化学活性種（ラジカル種），フラックス　　plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)，carbon nanotube (CNT)，catalysts，numerical simulation，chemically active species (radical species)，flux

要約(英語): Plasma is a useful tool to synthesize carbon nano-materials including diamond, fullerene, nanotube and graphene. This review introduces the overview of these carbon nano-materials produced by thermal or non-thermal plasmas and also the authors' work related to plasma-enhanced chemical vapor deposition of carbon nanotubes and its correlation with numerical simulation of CH4/H2 feedstock gas plasmas. The amount of carbon atoms in the CNTs grown and that calculated from simulation showed good agreement.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.132 No.6 （2012） 特集：超電導材料の合成と特性評価

本誌掲載ページ: 421-427 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/132/6/132_421/_article/-char/ja/