アルミニウム電極を用いたマイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2014/08/01

タイトル(英語): Breakdown Characteristics across Micrometer-scale Surface Gap with Aluminum Electrodes

著者名: 岩渕　大行（東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻），渡邉　惇（東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻），松岡　成居（東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻），熊田　亜紀子（東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻），日高　邦彦（東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻）

著者名(英語): Hiroyuki Iwabuchi (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Atsushi Watanabe (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Shigeyasu Matsuoka (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Akiko Kumada (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Kunihiko Hidaka (Department of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo)

キーワード: マイクロギャップ，放電，絶縁破壊電圧，パッシェンの法則，電界計算　　micrometer-scale gap，discharge，breakdown voltage，Paschen's law，electric field computation

要約(英語): With the miniaturization of MEMS (micro electromechanical systems) devices, the insulation width and the separation between electrodes in such devices have been accordingly reduced. Consequently, electrical breakdown phenomenon across micrometer-scale gap is of great practical interest for insulation designing of miniaturized devices. In this paper, breakdown phenomenon under impulse voltage application across micro-meter scale gaps fabricated on SO wafers were observed.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.134 No.8 （2014）

本誌掲載ページ: 485-486 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/134/8/134_485/_article/-char/ja/