ディップコート法を用いたカーボンナノチューブトランジスタの作製と評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2015/07/01

タイトル(英語): Fabrication and Investigation of Carbon Nano-tube Transistor by the Dip Coat Method

著者名: 市川　和典（神戸市立工業高等専門学校 電気工学科），松原　暉（神戸市立工業高等専門学校 電気工学科），須田　善行（豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系）

著者名(英語): Kazunori Ichikawa (Department of Electronical Engineering, Kobe City College of Technology), Akira Matsubara (Department of Electronical Engineering, Kobe City College of Technology), Yoshiyuki Suda (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology)

キーワード: カーボンナノチューブ（CNT），トランジスタ，ディップコート法，触媒　　carbon nano-tube (CNT)，transistor，dip coat method，catalysts

要約(英語): We have proposed a convenience fabrication technique of carbon nano-tubes (CNTs) transistor. Dip coating method using metallic solution was employed to deposit metal catalysts of CNTs on the source and drain electrodes on SiO2 coated Si substrate at a low temperature. This method does not require vacuum system and a long process time. After the CNTs fabrication by chemical vapor deposition, we evaluated the morphology of CNTs by scanning electron microscopy and their electrical property as a CNT field-effect-transistor (FET). The CNTs formed suspended bridges between the source and drain electrodes. Field effect mobility of the CNT-FET was measured to be 3000 cm2/Vs from its transfer curve. On the basis of the electrical property, the CNT-FET with high field effect mobility can be obtained.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.135 No.7 （2015） 特集：電気機器の低損失・高効率化に向けた電力用磁性材料の評価活用技術

本誌掲載ページ: 409-413 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/135/7/135_409/_article/-char/ja/