金属におけるフェムト秒レーザーナノアブレーションの閾値フルーエンス

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2015/10/01

タイトル(英語): Threshold Fluence of Femtosecond Laser Nano-Ablation for Metals

著者名: 橋田　昌樹（京都大学化学研究所／京都大学大学院理学研究科），宮坂　泰弘（京都大学化学研究所），西井　崇也（京都大学大学院理学研究科），清水　雅弘（京都大学工学研究科），井上　峻介（京都大学化学研究所／京都大学大学院理学研究科），阪部　周二（京都大学化学研究所／京都大学大学院理学研究科）

著者名(英語): Masaki Hashida (ICR, Kyoto University/GSS, Kyoto University), Yasuhiro Miyasaka (ICR, Kyoto University), Takaya Nishii (GSS, Kyoto University), Masahiro Shimizu (Graduate School of Engineering, Kyoto University), Shunsuke Inoue (ICR, Kyoto University/GSS, Kyoto University), Shuji Sakabe (ICR, Kyoto University/GSS, Kyoto University)

キーワード: フェムト秒レーザー，アブレーション閾値，金属　　femtosecond laser，ablation threshold，metals

要約(英語): Femtosecond laser nano-ablation of Ti by short-pulse laser irradiation (800 nm/40 fs) is studied in the laser fluence range of 0.07-0.5 J/cm2. To determine the ablation threshold, the ablation rate dependence on laser fluence is precisely measured. Multi-shot ablation threshold of titanium is found to be 0.074 J/cm2 in which value is good agreement with that reported previously by other group. To discuss the ablation mechanism, all the ablation thresholds for metals previously published are plotted as a function of work function and melting temperature. We found that the ablation thresholds correlated with work function of metals. Experimental data suggested that the femtosecond laser ablation is mainly due to multi-photon absorption and optical field ionization.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.135 No.10 （2015） 特集：光エネルギー応用技術の最新動向

本誌掲載ページ: 575-580 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/135/10/135_575/_article/-char/ja/