真空ギャップにおける微小粒子による絶縁破壊現象

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2017/01/01

タイトル(英語): Electrical Breakdown Triggered by Micro Particle in Vacuum Gap

著者名: 阿部　圭佑（東京大学大学院工学系研究科），江尻　開（東京大学大学院工学系研究科），松岡　成居（東京大学大学院工学系研究科），熊田　亜紀子（東京大学大学院工学系研究科），日高　邦彦（東京大学大学院工学系研究科），道念　大樹（三菱電機（株）先端技術総合研究所），月間　満（三菱電機（株）先端技術総合研究所）

著者名(英語): Keisuke Abe (School of Engineering, The University of Tokyo), Haruki Ejiri (School of Engineering, The University of Tokyo), Sigeyasu Matsuoka (School of Engineering, The University of Tokyo), Akiko Kumada (School of Engineering, The University of Tokyo), Kunihiko Hidaka (School of Engineering, The University of Tokyo), Taiki Donen (Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation), Mitsuru Tsukima (Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: 真空，微小粒子，絶縁破壊，クランプ仮説　　vacuum，micro particle，breakdown，Cranberg hypothesis

要約(英語): Insulation performance of vacuum decreases with micro particles. Particle-triggered breakdown phenomenon, which occurs when particle approaches and collides with electrode, was observed and the cause of the breakdown was investigated. It was found out that key factor of the breakdown was not particle impact speed but instantaneous field formed near the electrode with approaching-particle. The electric field at the particle collision was numerically computed changing the particle charge and the particle configuration. It turned out that big particle would cause breakdown easily. This coincides well with the experimental result.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.137 No.1 （2017） 特集Ⅰ：2017年基礎材料分野の研究開発の動向　特集Ⅱ：イノベーションを支える最新の計測技術　2016

本誌掲載ページ: 95-100 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/137/1/137_95/_article/-char/ja/