高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N2濃度の影響

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2017/10/01

タイトル(英語): Influence of Impurity Nitrogen Concentration on Fundamental Properties of RF-Driven Non-Equilibrium Atmospheric-Pressure Helium Plasmas

著者名: 小森　郷平（千葉工業大学 工学部 電気電子工学科），小田　昭紀（千葉工業大学 工学部 電気電子工学科）

著者名(英語): Kyohei Komori （Chiba Institute of Technology）, Akinori Oda （Chiba Institute of Technology）

キーワード: 非平衡大気圧プラズマ，He，N2，シミュレーション　　non-equilibrium atmospheric pressure plasma，helium，nitrogen，numerical simulation

要約(英語): Non-equilibrium atmospheric-pressure plasmas have been utilized for various technological applications such as materials processing, biomedical and biological applications, etc. In this paper, the influence of impurity nitrogen concentration on the fundamental properties of rf-driven non-equilibrium atmospheric-pressure helium plasmas was examined using a spatially one-dimensional fluid model, based on the continuity equations for charged and neutral species, the electron energy conservation equation, and the Poisson equation. The simulated I-V characteristics were in good agreement with the experimental ones, qualitatively and quantitatively. From the impurity nitrogen concentration dependence of the discharge sustaining voltage for constant input-power density, it was clarified that the certain value of impurity nitrogen concentration plays an important role in reducing discharge sustaining voltage.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.137 No.10 （2017）

本誌掲載ページ: 570-576 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/137/10/137_570/_article/-char/ja/