誘導結合プラズマに印加した対向発散磁界の電子閉じ込め効果の定量化とその制御条件依存性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2019/05/01

タイトル(英語): Quantification of Electron Confinement Effect of Confronting Divergent Magnetic Fields Applied to an Inductively Coupled Plasma and its Dependence on Control Parameters

著者名: 小澤　良輔（北海道大学大学院情報科学研究科），菅原　広剛（北海道大学大学院情報科学研究科）

著者名(英語): Ryosuke Ozawa (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University), Hirotake Sugawara (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University)

キーワード: 対向発散磁界，分界面，電子閉じ込め，電子脱出，電離　　confronting divergent magnetic fields，separatrix，electron confinement，electron escape，ionization

要約(英語): The electron confinement effect of confronting divergent magnetic fields (CDMFs) applied to an inductively coupled plasma was quantified with a time constant for the electron escape, and its dependence on the magnetic field strength and the position of the separatrix of the CDMFs was investigated with a Monte Carlo method. It was observed that the electron confinement promoted electron multiplication by enhancing the opportunity of electron acceleration in a near-antenna region under high electric and weak magnetic fields.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.139 No.5 （2019）

本誌掲載ページ: 283-284 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/139/5/139_283/_article/-char/ja/