球電極間の衝突ESDにおけるベアチップの光電界センサーを用いた静電界の過渡応答

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2020/12/01

タイトル(英語): Transient Response of Electrostatic Field due to Collision ESD between Spherical Electrodes by using Bare-chip Optical Electric Field Sensor

著者名: 加藤　健人（東北学院大学情報基盤工学科），川又　憲（東北学院大学情報基盤工学科），石上　忍（東北学院大学情報基盤工学科），大沢　隆二（（株）精工技研），石田　武志（（株）ノイズ研究所），藤原　修（（株）ノイズ研究所）

著者名(英語): Kento Kato (Department of Electronic Engineering, Tohoku Gakuin University), Ken Kawamata (Department of Electronic Engineering, Tohoku Gakuin University), Shinobu Ishigami (Department of Electronic Engineering, Tohoku Gakuin University), Ryuji Osawa (SEIKOH GIKEN Co., Ltd.), Takeshi Ishida (Noise Laboratory Co., LTD.), Osamu Fujiwara (Noise Laboratory Co., LTD.)

キーワード: 球電極，衝突ESD，静電界，ベアチップ光電界センサー，過渡応答　　spherical electrodes，collision ESD，electrostatic field，bare-chip optical electric field sensor，transient response

要約(英語): Transient electric fields due to collision electrostatic discharges (ESDs) between charged spherical electrodes with a diameter of 30 mm at a charging voltage from 600 V are measured in the close proximity to the spark point by using a bare-chip optical electric field sensor. The transient responses of the electrostatic fields at distances of over 6 mm away from the spark point are also shown.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.140 No.12 （2020） 特集：2019年環境電磁工学国際シンポジウム（EMC Sapporo and APEMC 2019）

本誌掲載ページ: 599-600 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/140/12/140_599/_article/-char/ja/