Glass buffer-layerを有するSi基板上へのNd-Fe-B系厚膜磁石の作製と諸特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2021/02/01

タイトル(英語): Preparation of Nd-Fe-B Thick-film Magnets Deposited on Si Substrates with Each Glass Buffer Layer and their Properties

著者名: 中野　正基（長崎大学大学院工学研究科），桃崎　瑞貴（長崎大学大学院工学研究科），松岡　凌平（長崎大学大学院工学研究科），山下　昂洋（長崎大学大学院工学研究科），柳井　武志（長崎大学大学院工学研究科），福永　博俊（長崎大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Masaki Nakano (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Mizuki Momosaki (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Ryohei Matsuoka (Graduate School of Engineering, Nagasaki University), Akihiro Yamashita (Graduate School of Engine

キーワード: PLD，Nd-Fe-B，バッファー層，磁気特性，Nd含有量，機械的破壊_x000D_　　PLD，Nd-Fe-B，buffer-layer，magnetic properties，Nd content，mechanical destruction

要約(英語): This contribution reports mechanical characteristic together with magnetic properties of PLD (Pulsed Laser Deposition)-fabricated isotropic Nd-Fe-B thick-films on Si substrates with each glass under layer. An enhancement in the thickness of a PLD-made glass buffer-layer enabled us to reduce the stress between a Si substrate and a film magnet. Moreover, the adoption of a glass buffer-layer was effective to enhance the values of residual magnetic polarization and (BH)max comparing those of a Nd-Fe-B film magnet with almost the same thickness on a Si substrate with a 500-nm thick thermal oxide layer.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.141 No.2 （2021） 特集：ナノスケール磁性体の構造・組織解析と創製に関する動向と展望

本誌掲載ページ: 128-132 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/141/2/141_128/_article/-char/ja/