高周波バリア放電のマクロモデル

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Macro Modeling of High Frequency Dielectric Barrier Discharge

著者名: 民田　太一郎（大阪電気通信大学工学部 電気電子工学科），岩蕗　寛康（三菱電機（株）先端技術総合研究所），岩田　明彦（大阪産業大学工学部 電子情報通信工学科）

著者名(英語): Taichiro Tamida (Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Osaka Electro-Communication University), Hiroyasu Iwabuki (Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corp.), Akihiko Iwata (Department of Electronics, Information and Communication Engineerng, Osaka Sangyo University)

キーワード: バリア放電，回路モデル　　dielectric barrier discharge，circuit modeling

要約(英語): We have developed a macro model that focuses only on electrical characteristics to handle the discharge phenomenon as a circuit. We considered the discharge as a kind of non-equilibrium system and modeled the transient changes in the discharge impedance. We also examined how to fix these model parameters from measurable values. We applied it to the high frequency dielectric barrier discharge and obtain sufficient agreement with the measurement results. We think that this model can be applied, not only to discharge phenomena but also as a method for circuit-modeling a general physical phenomenon in which the state changes transiently in a non-equilibrium system.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.142 No.3 （2022） 特集：放電・プラズマ・パルスパワー研究の最新動向

本誌掲載ページ: 52-58 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/142/3/142_52/_article/-char/ja/