誘導結合磁化プラズマ中の共鳴磁界域近傍部分共鳴による電子エネルギー利得の評価指標

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2022/06/01

タイトル(英語): A Measure for the Electron Energy Gain by Partial Resonance around the Resonant Magnetic Field Region in an Inductively Coupled Magnetized Plasma

著者名: 野原　直人（北海道大学大学院情報科学研究院），菅原　広剛（北海道大学大学院情報科学研究院）

著者名(英語): Naoto Nohara (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University), Hirotake Sugawara (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合プラズマ，対向発散磁界，電子サイクロトロン共鳴，部分共鳴，共鳴磁界域，電子エネルギー利得　　inductively coupled plasma，confronting divergent magnetic fields，electron cyclotron resonance，partial resonance，resonant magnetic field region，electron energy gain

要約(英語): A measure for analyzing electron energy gain is introduced to seek for desirable conditions for the partial resonance that assists the power deposition to radio-frequency (rf) plasmas driven under confronting divergent magnetic fields. The weight of the solid angle of initial electron release from a source and the effect of electron-molecule collisions are considered in the integration of the expected value of the electron energy.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.142 No.6 （2022） 特集：バイオ・医療における磁界・磁性材料の応用研究と産学官連携

本誌掲載ページ: 288-289 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/142/6/142_288/_article/-char/ja/