水晶双音叉振動子を用いた高精度圧力センサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2011/06/01

タイトル(英語): High Accuracy Pressure Sensor Using Quartz Dual Tuning Fork Resonator

著者名: 渡辺　潤（セイコーエプソン（株） センシングシステムBU），櫻井　俊信（エプソントヨコム（株） SDグループ），齋藤　佳邦（セイコーエプソン（株） センシングシステムBU），佐藤　健太（エプソントヨコム（株） SDグループ）

著者名(英語): Jun Watanabe (Sensing System Business Unit, SEIKO EPSON Corporation), Toshinobu Sakurai (SD GROUP, EPSON TOYOCOM Corporation), Yoshikuni Saito (Sensing System Business Unit, SEIKO EPSON Corporation), Kenta Sato (SD GROUP, EPSON TOYOCOM Corporation)

キーワード: 水晶，圧力センサ，音叉振動子，温度補償，直線性補償　　Quartz，Pressure sensor，Tuning Fork Resonator，Temperature compensation，Linearity compensation

要約(英語): We have developed a quartz pressure sensor for measuring with high accuracy. This sensor uses a dual tuning fork resonator which has frequency change by stress. Frequency change for full scale (FS) is about 10% on the basis of unloaded frequency. This sensor is good repeatability and hysteresis characteristics which is 0.005% FS and 0.008% FS respectively. In addition, pressure transducer are all fabricated by quartz through the technology of photolithography. Indeed, microprocessor-based measuring system is available with high speed counter timer to measure transducer's frequency and to compensate transducer's temperature characteristics and linearity.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.131 No.6 （2011） 特集：圧電材料・デバイス

本誌掲載ページ: 1101-1107 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/131/6/131_6_1101/_article/-char/ja/