LiTaO3基板上の漏洩弾性表面波の特性改善

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2011/06/01

タイトル(英語): Improvement of Characteristics of Leaky Surface Acoustic Wave on LiTaO3

著者名: 木村　哲也（（株）村田製作所），門田　道雄（（株）村田製作所），伊田　康之（（株）村田製作所）

著者名(英語): Tetsuya Kimura (MURATA MANUFACTURING CO., LTD.), Michio Kadota (MURATA MANUFACTURING CO., LTD.), Yasuyuki Ida (MURATA MANUFACTURING CO., LTD.)

キーワード: 漏洩弾性表面波，タンタル酸リチウム，溝埋め込み電極，共振子　　Leaky surface acoustic wave，LiTaO3，grooved electrodes，resonator

要約(英語): A Leaky surface acoustic wave (LSAW) on Al-electrodes/36-48°YX-LiTaO3 substrates have widely used as filters and duplexers in cell phones because of having a suitable electro-mechanical coupling factor, reflection coefficient and good Q-factor for cell phones. In this paper, a new LSAW structure consisted of upper Al-electrodes stacked on lower grooved Cu-electrodes in the LiTaO3 is proposed and compared with Al-electrodes (0.1λ)/42°YX-LiTaO3 which has been considered the best structure ever. As the result, authors have been able to improve characteristics of the LSAW.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.131 No.6 （2011） 特集：圧電材料・デバイス

本誌掲載ページ: 1115-1119 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/131/6/131_6_1115/_article/-char/ja/